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详细情况：日立扫描电子显微镜 → 日立扫描电子显微镜S-3400N

日立扫描电子显微镜S--3400N型具有最新开发的电子光学系统，强大的自动化功能，操作更简易。
一、日立扫描电子显微镜S--3400N型的特点
1. S-3400N具有强大的自动功能，包括自动灯丝饱和、4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴自动聚焦和消像散、自动亮度对比度等。
2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高灵敏半导体式背散射探头。
4. S-3400N II型具有五轴马达台，倾斜角度可达-20度~+90度，样品最高可达80mm。
5. 分析样品仓可以同时安装EDX ， WDX 及EBSD。
6. 真空系统使用涡轮分子泵，洁净、高效。

二、日立扫描电子显微镜S--3400N型的技术指标

项目

描述

SE分辨率

3.0nm (30kV)，高真空模式
10nm (3kV)，高真空模式

BSE分辨率

4.0nm (30kV)，低真空模式

放大倍率

x5 ~ x300,000

加速电压

0.3 ~ 30 kV

低真空范围

6 ~ 270 Pa

最大样品尺寸

直径200mm

样品台

I型

II型

0 ~ 80mm

0 ~ 100mm

0 ~ 40mm

0 ~ 50mm

5 ~ 35mm

5 ~ 65mm

360o

-20o~ +90o

-20o ~ +90o

最大样品高度

35mm (WD=10mm)

80mm (WD=10mm)

驱动类型

手动

五轴马达驱动

灯丝

预对中钨灯丝

物镜光栏

可移动式4孔物镜光栏

枪偏压

固定比例偏压、手动偏压和自动4偏

检测器

二次电子检测器
高灵敏度半导体背散射电子检测器

分析位置

WD=10mm, TOA=35o

控制

鼠标、键盘，手动旋钮

自动调校

自动灯丝饱和、自动4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴、自动聚焦消像散、自动亮度对比度

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