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JEOL可移动式扫描电子显微镜JCM-5700产品详细介绍 扫描电子显微镜的与光学显微镜和激光显微镜的比较
从极低倍到高倍,在图像上就可以直接进行长度和角度测量,即在鲜明的图像上进行高精度测量。保存后的图像也可以用SMile View软件(选购件)打开并进行测量。
不仅可以利用二次电子信息进行样品表面观察,还可以利用背散射电子成份衬度像进行异物及多层膜观察。另外,还可以使用能量分散型光谱仪(EDS)进行元素分析。日本电子产能谱仪JED-2300可以与主机实现一体化,将点镜扩展为分析型点镜。
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